特許

J-GLOBAL ID：200903084912392125

シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法および該製造方法で製造された石英ガラスルツボ

発明者： 大浜 康生 ,  松井 宏
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052704
公開番号（公開出願番号）：特開2004-262690
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【目的】シリコン融液表面の振動が抑えられ、かつ、シリコン単結晶引上げ時のルツボの変形の少ない石英ガラスルツボの製造方法および該製造方法で得られた石英ガラスルツボを提供すること。【解決手段】透明で気泡のない内層と気泡を含み不透明な外層を有する少なくとも2層構造の石英ガラスルツボの製造方法において、前記少なくとも外層を混合比0.0005〜0.0065kg/kg(乾燥気体)の気体中で保持したシリカ粉で形成することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法および該製造方法で得られた石英ガラスルツボ。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

透明で気泡のない内層と気泡を含み不透明な外層を有する少なくとも2層構造の石英ガラスルツボの製造方法において、前記少なくとも外層を混合比0.0005〜0.0065kg/kg(乾燥気体)の気体中で保持したシリカ粉で形成することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (2件)：

C03B20/00 ,  C30B29/06

FI (2件)：

C03B20/00 H ,  C30B29/06 502B

Fターム (7件)：

4G014AH02 ,  4G014AH08 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077PD01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-009783