特許
J-GLOBAL ID:200903084916120022
圧電素子及び振動型アクチュエータ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (11件):
前田 弘
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
, 関 啓
, 杉浦 靖也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-122282
公開番号(公開出願番号):特開2008-278710
出願日: 2007年05月07日
公開日(公表日): 2008年11月13日
要約:
【課題】圧電素子及び振動型アクチュエータにおいて、フルブリッジ駆動を可能にするとともに、信頼性を向上させる。【解決手段】圧電素子12は圧電体層1と内部電極層2とを積層してなる。内部電極層2はプラス電極層2a及びマイナス電極層2bからなる。プラス電極層2aは第1及び第2プラス電極層2aa,2abを有する。マイナス電極層2bは第1及び第2マイナス電極層2ba,2bbを有する。第1プラス電極層2aa及び第1マイナス電極層2baはそれぞれ、4つの分割電極3と、4つの分割電極3のうち第1対角線方向に対向する2つの領域にそれぞれ設けられた一対の分割電極3を互いに接続する接続電極4とを有する。第2プラス電極層2ab及び第2マイナス電極層2bbはそれぞれ、4つの分割電極3と、4つの分割電極3のうち第2対角線方向に対向する2つの領域にそれぞれ設けられた一対の分割電極3を互いに接続する接続電極4とを有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
略矩形状の圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなる圧電素子であって、
前記内部電極層は、積層方向に前記圧電体層を介して交互に配されたプラス電極層及びマイナス電極層からなり、
前記プラス電極層は、前記圧電体層の主面に設けられた第1プラス電極層と、主面に該第1プラス電極層が設けられた圧電体層とは異なる圧電体層の主面に設けられた第2プラス電極層とを有し、
前記マイナス電極層は、前記圧電体層の主面に設けられた第1マイナス電極層と、主面に前記第1マイナス電極層が設けられた圧電体層とは異なる圧電体層の主面に設けられた第2マイナス電極層とを有し、
前記第1プラス電極層及び前記第1マイナス電極層はそれぞれ、前記圧電体層の主面をその長手方向及び短手方向にそれぞれ2分割してなる4つの領域にそれぞれ設けられた4つの分割電極と、該4つの分割電極のうち前記圧電体層の主面の第1対角線方向に対向する2つの領域にそれぞれ設けられた一対の分割電極を互いに接続する接続電極とを有し、
前記第2プラス電極層及び前記第2マイナス電極層はそれぞれ、前記4つの領域にそれぞれ設けられた4つの分割電極と、該4つの分割電極のうち前記圧電体層の主面の第2対角線方向に対向する2つの領域にそれぞれ設けられた一対の分割電極を互いに接続する接続電極とを有することを特徴とする圧電素子。
IPC (3件):
H02N 2/00
, H01L 41/083
, H01L 41/187
FI (5件):
H02N2/00 C
, H01L41/08 Q
, H01L41/18 101D
, H01L41/08 N
, H01L41/08 P
Fターム (13件):
5H680AA06
, 5H680BB01
, 5H680CC02
, 5H680DD02
, 5H680DD15
, 5H680DD23
, 5H680DD37
, 5H680DD40
, 5H680DD63
, 5H680DD82
, 5H680DD87
, 5H680DD95
, 5H680FF33
引用特許:
出願人引用 (1件)
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多層圧電性モータ
公報種別:公表公報
出願番号:特願2001-500350
出願人:ナノモーションリミテッド
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