特許
J-GLOBAL ID：200903084921904562
ドライエッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099138
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306648
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】装置の稼動率を高く維持することができるとともに、ドライクリーニング時の残留ガスがウエハのエッチングに影響を与えるのを防止できるドライエッチング装置を提供する。【構成】エッチングガス吹出口33および排気口37を有するエッチングチャンバ31と、エッチングガス吹出口33側に設置されたウエハ36をエッチングするエッチング用電極32,35と、エッチングガス吹出口33側に設置されて反応生成物が付着するのを防止するヒータ38,39と、排気口37側に設置されて反応生成物を付着させるクーリング部(40)と、このクーリング部の反応生成物を除去するドライクリーニング電極44とを備えている。
請求項（抜粋）：
エッチングガス吹出口および排気口を有するエッチングチャンバと、前記エッチングガス吹出口側に設置されたウエハをエッチングするエッチング用電極と、前記エッチングガス吹出口側に設置されて前記ウエハ以外の部位に反応生成物が付着するのを防止するヒータと、前記排気口側に設置されて反応生成物を付着させるクーリング部と、このクーリング部の反応生成物を除去するドライクリーニング電極とを備えたドライエッチング装置。
IPC (2件)：
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