特許

J-GLOBAL ID：200903084930218752

プローブコンタクト用ステージ装置

発明者： 岩田 利明
出願人/特許権者： 東京電子工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347520
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201784
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】位置調整ステージを薄型化して調整作業を容易にし、また監視用ビデオカメラの配置空間に余裕を得、ビデオカメラのために作業上で支障が生じることのないようにする。【構成】ベース100上には、パレット200が可動自在に配置される。パレット200は、プランジャー101、102によりX軸方向の一方と、Y軸方向の一方に平面方向へ押されている。X軸方向の他方からは、パレット200のエッジを押し付ける調整ねじ104がベースに設けられ、Y軸方向の他方からは、パレット200のエッジを押し付ける調整ねじ106、108がベース100に設けられ、これによりX、Y軸方向及びθ方向の位置調整が可能である。この調整状態を監視するのに、ベース100には、光導入部401a、402aが設けられ、ここから導入された光学像は、光軸変更されてベース100のエッジ側へ導かれる。

請求項（抜粋）：

被検査板体が所定位置に載置されるパレットと、前記パレットを上面で平面的に可動自在に受けるベースと、前記ベース上のパレットをそのエッジ方向から駆動して、X軸方向、これと直交するY軸方向、及び平面回転方向に位置調整する調整手段と、前記ベース上に光導入部を配置しており、前記調整手段により上記パレットが位置調整される状態を監視するために、当該光導入部からの像を上記ベース内部及びエッジを通して外部にエッジ外部に導出し、カメラ部を導くための光学系路とを具備したことを特徴とするプローブコンタクト用ステージ装置。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/66