特許
J-GLOBAL ID:200903084934853908

対物レンズ支持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 順三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-261837
公開番号(公開出願番号):特開2001-084616
出願日: 1999年09月16日
公開日(公表日): 2001年03月30日
要約:
【要約】【課題】 ピッチング共振に対して適切な柔軟性を備え、対物レンズの光軸方向の変位による変形を抑制可能な固定基板を実現し、制振効果が高くダイナミックタンジェンシャルチルトの小さい対物レンズ支持装置を提供する。【解決手段】 弾性支持部材3のそれぞれの他端側に接続される固定基板13を、可動部にZ軸方向への移動力が作用した際に、該移動力の固定基板13までの距離に応じて弾性支持部材3の他端側との接続部に加わる回転モーメントM1と、移動力により弾性支持部材3に生じる引張力もしくは圧縮力に基づいて弾性支持部材3の他端側との接続部に加わる回転モーメントM2との方向が相互に逆になるように構成する。
請求項(抜粋):
XYZ直交座標系において、Z軸方向を光軸とする対物レンズを有する可動部に、Z軸方向に隣接して概略X軸方向に延在する対構成の弾性支持部材のそれぞれの一端側を接続し、これら弾性支持部材のそれぞれの他端側を基台側に保持させる固定基板に接続して、前記可動部を前記弾性支持部材を介して少なくともZ軸方向に移動可能に懸架支持する対物レンズ支持装置において、上記固定基板を、上記可動部にZ軸方向への移動力が作用した際に、該移動力の固定基板までの距離に応じて上記弾性支持部材の他端側との接続部に加わる回転モーメントM1と、前記移動力により弾性支持部材に生じる引張力もしくは圧縮力に基づいて、弾性支持部材の他端側との接続部に加わる回転モーメントM2との方向が相互に逆になるように構成したことを特徴とする対物レンズ支持装置。
Fターム (12件):
5D118AA23 ,  5D118BA01 ,  5D118BB02 ,  5D118BF02 ,  5D118BF03 ,  5D118EA02 ,  5D118EF09 ,  5D118FA29 ,  5D118FB06 ,  5D118FB10 ,  5D118FB20 ,  5D118FC10

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