微小金属球の製造方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310451
公開番号（公開出願番号）：特開2000-144215
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】所定サイズの微小金属球を精度よく、かつ効率的に製造し得る微小金属球の製造方法および装置を提供する。【解決手段】金属球を形成すべき金属を加熱溶融する加熱手段と、注入された溶融金属Mを所定容積に計量する計量手段と、計量手段から放出された溶融金属Mを融点以下の温度に冷却する冷却手段と、を備える。計量手段は、溶融金属Mが注入される所定容積の計量器6を有し、この計量器6を摺接させることにより溶融金属Mが所定容積で摩りきられるように構成されている。溶融金属Mを所定容積の計量器6に注入して計量し、計量した溶融金属Mを計量器6から放出して融点以下の温度に冷却し、その冷却過程で球状に固化させる。

請求項（抜粋）：

所定サイズの微小金属球を製造するための方法であって、溶融金属を所定容積の計量器に注入して計量し、計量した溶融金属を計量器から放出して固化させることにより微小金属球を形成するようにしたことを特徴とする微小金属球の製造方法。

IPC (6件)：

B22F 9/08 , B22F 1/00 , H01L 21/60 , B23K 35/40 340 , B29D 31/00 , C03B 19/10

FI (6件)：

B22F 9/08 Z , B22F 1/00 R , B23K 35/40 340 F , B29D 31/00 , C03B 19/10 C , H01L 21/92 604 H

Fターム (27件)：

4F213AD03 , 4F213AG19 , 4F213AH36 , 4F213AP13 , 4F213WA53 , 4F213WA56 , 4F213WA83 , 4F213WA84 , 4F213WA97 , 4F213WB01 , 4K017AA04 , 4K017BA01 , 4K017BB01 , 4K017BB02 , 4K017CA01 , 4K017DA01 , 4K017EC01 , 4K017EC04 , 4K017EE02 , 4K017FA04 , 4K017FA23 , 4K017FA25 , 4K018AA40 , 4K018BA20 , 4K018BB00 , 4K018BB01 , 4K018BC06

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭51-119660
特開昭54-024262
特開昭54-085171

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審査官引用 (4件)

特開昭51-119660
特開昭54-024262
特開昭54-085171

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