特許

J-GLOBAL ID：200903084943068440

研磨用定盤

発明者： 中村 由夫
出願人/特許権者： 不二越機械工業株式会社
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-013685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198803
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【課題】 2層の冷却流路を備える定盤が鋳造によって一体成形され、剛性と研磨面の平坦度を向上できると共に、製造コストが高くなることを抑えること。【解決手段】 研磨面11が表面に形成される定盤12が、鋳造によって一体的に形成されるように、表面側の冷却流路20A及び裏面側の冷却流路20Bが、鋳型の一部である表面側の中子及び裏面側の中子によって成形され、その表面側の中子及び裏面側の中子を裏面側から支持するように設けられる柱状の中子によって、定盤の裏面13から表面側の冷却流路20Aに成形された抜き穴21a及び定盤の裏面13から裏面側の冷却流路20Bに成形された抜き穴21bが、定盤12の材質と同質の材料からなる蓋27a、27bで溶接によって塞がれ、残留内部応力が熱処理によって除去されて設けられている。

請求項（抜粋）：

被研磨物の被研磨面が押し当てられて該被研磨面を平坦に研磨する研磨面が表面に形成され、内部に、厚さ方向について2層に冷却液が流通されるように、表面側の冷却流路及び裏面側の冷却流路が形成された定盤を備える研磨用定盤において、前記定盤が鋳造によって一体的に形成されるように、前記表面側の冷却流路及び裏面側の冷却流路が、鋳型の一部である表面側の中子及び裏面側の中子によって成形され、該表面側の中子及び裏面側の中子を裏面側から支持するように設けられる柱状の中子によって、前記定盤の裏面から前記表面側の冷却流路に成形された抜き穴及び前記定盤の裏面から前記裏面側の冷却流路に成形された抜き穴が、該定盤の材質と同質の材料からなる蓋で溶接によって塞がれ、残留内部応力が熱処理によって除去されて設けられていることを特徴とする研磨用定盤。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 622 R ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA17