特許
J-GLOBAL ID:200903084945280330

ボンディング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-087746
公開番号(公開出願番号):特開平8-264588
出願日: 1995年03月22日
公開日(公表日): 1996年10月11日
要約:
【要約】【目的】 TABフィルムを液晶表示パネル上にボンディングする際、両者の位置確認のために使用する2つの光源による照射光量の調整を極めて簡単に行うことができるようにする。【構成】 第1の光源4から出た光は液晶表示パネル21のアライメントマークに照射され、その反射光がCCD形撮像素子8に入射される。第2の光源5から出た光はTABフィルム31のアライメントマークに照射され、その反射光がCCD形撮像素子8に入射される。この場合、第1と第2の光源4、5をスイッチング回路13の作用により交互に点灯させると、CCD形撮像素子8による両画像認識結果がモニターテレビ6に短時間ずつ交互に表示されるが、残像現象により、両画像認識結果が同時に表示されたように視認されることになる。そして、両光源4、5を交互に点灯することにより、各照射光量のバランスおよび全体の照射光量をあまり考慮する必要がなくなる。
請求項(抜粋):
一の電子部品を透明部を有する他の電子部品上にボンディングする際、まず前記一の電子部品を前記他の電子部品上に位置させ、次いで前記他の電子部品の透明部の真下からと斜め下方から光を交互に照射し、真下からの光が前記他の電子部品の所定箇所で反射されて得られた反射光と斜め下方からの光が前記一の電子部品の所定箇所で反射されて得られた反射光とに基づいて前記両電子部品の各所定箇所をカメラで画像認識し、これらの認識結果をモニターテレビに表示し、次いでこの表示された映像に基づいて前記一または他の電子部品の位置を補正して、前記一の電子部品と前記他の電子部品との位置合わせを行い、この後前記一の電子部品を前記他の電子部品上にボンディングすることを特徴とするボンディング方法。
IPC (3件):
H01L 21/60 311 ,  H01R 4/02 ,  H01R 43/02
FI (3件):
H01L 21/60 311 Q ,  H01R 4/02 C ,  H01R 43/02 A

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