特許

J-GLOBAL ID：200903084946477413

マルチポート回路の電気的特性測定用プローブヘッド,及びマルチポート回路の電気的特性測定方法

発明者： 宇土元 純一 ,  小丸 真喜雄 ,  佐々木 善伸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222457
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064962
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 マルチポート回路が形成された半導体チップの電気的特性をウエハの状態で正確に測定することのできるマルチポート回路の電気的特性測定用プローブヘッド,及びマルチポート回路の電気的特性測定方法を提供する。【解決手段】 信号端子6a,6bに接続された第1のポート用プローブ1、及び該第1のポート用プローブ1の両側にそれぞれ配置された1対の接地用プローブ2をそれぞれ有する1対の第1のプローブ群A1,A2 と、50オームで終端する終端回路4に接続された第2のポート用プローブ3、及び該第2のポート用プローブ3の両側にそれぞれ配置された1対の接地用プローブ2をそれぞれ有するn-2個の第2のプローブ群Bとを備えたものである。

請求項（抜粋）：

半導体チップに形成された、少なくとも1つの入力ポート,及び1つの出力ポートを含むn個(nは3以上の整数)のポートを有するマルチポート回路の電気的特性を測定するためのプローブヘッドであって、無線周波数の測定信号が入力される,又は出力される1対の信号端子と、接地される接地端子と、50オームで終端するn-2個の終端回路と、その各々が、上記各信号端子に接続された第1のポート用プローブ、及び該第1のポート用プローブの両側にそれぞれ配置され、上記接地端子に接続された1対の接地用プローブからなる1対の第1のプローブ群と、その各々が、上記各終端回路に接続された第2のポート用プローブ、及び該第2のポート用プローブの両側にそれぞれ配置され、上記接地端子に接続された1対の接地用プローブからなるn-2個の第2のプローブ群とを備えたことを特徴とするマルチポート回路の電気的特性測定用プローブヘッド。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 27/28 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/26

FI (5件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 E ,  G01R 27/28 Z ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/26 J