スパツタリングユニツト

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川井興二郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-354613
公開番号（公開出願番号）：特開平5-039567
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】製造工程が、ターゲット交換のため又はターゲットコンディショニングのために、中断されることがないスパッタリングユニットを提供する。【構成】本発明はスパッタリングユニットに関し、それは、電極3とこの電極3に接続されたターゲット2を有し、このターゲット2が交換可能なものである。消耗ターゲット2が、新しく且つ予めスパッタされたターゲット7に置き換えられ、それにより、終了した電極3が新しい電極6に置き換えられる。

請求項（抜粋）：

第1の予め決められた容積を有し、スパッタ材料が適用されている基板(4)が設けられているワーキング室(1);スパッタされ且つ前記基板(4)に対向し、第1電極(3)に接続された第1ターゲット(2);第2の予め決められた容積を有し、少なくとも第2ターゲット(7)を含み、該ターゲットが前記第1電極(3)のようないくつかの電位を有する第2電極(6)に接続されている控え室(5);前記ワーキング室(1)を前記控え室(5)から分ける壁(8);前記控え室(5)中に設けられ、前記第2ターゲット(7)に対向し、且つ第1及び第2電極(3,6)の電位と異なる電位を有する第3電極(32);前記第2ターゲット(7)を前記第1ターゲット(2)の跡に移動させ、且つワーキング室から前記第1ターゲット(2)を取り除く装置(34〜39,123,124,131,132);とを有するスパッタリングユニット。

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