特許
J-GLOBAL ID:200903084952365090

四重極質量分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-035558
公開番号(公開出願番号):特開平7-245080
出願日: 1994年03月07日
公開日(公表日): 1995年09月19日
要約:
【要約】【構成】電極電圧制御5の質量走査信号に基づいて、主電源2は四重極電極1に直流電圧Uと高周波電圧Vcosωtの重畳電圧を印加する。入射部電位差制御部6は、質量走査信号を入力し、予め入力されたイオンの質量数に対する入射部の最適電位差のテーブルに基づき、入射部電位差電源7を介してシ-ルドケース9及びレンズ電極8の電圧を制御する。【効果】質量分離するイオンの質量数に応じて電極入射部の電位差を最適な大きさに変えることができるので、どの質量数のイオンも効率良く端電界を通過でき、広い質量数範囲のイオンに対し四重極電極入射部の透過率が最大となる四重極質量分析装置を提供することができる。
請求項(抜粋):
互いに平行配置された4本のロッド状電極を有し、主電源によってそれらに直流電圧と高周波電圧とを重畳した電圧を印加し、前記直流電圧と前記高周波電圧とを走査することにより、イオンの質量分析を行う四重極電極を備え、イオン源の電位と四重極電極の平均電位との電位差が固定された四重極質量分析装置において、前記イオン源から出射されたイオンを前記四重極電極に入射する入射部に設けられた電位差を、走査中に質量分析するイオンの質量数に応じて制御する手段を設けたことを特徴とする四重極質量分析装置。
IPC (3件):
H01J 49/42 ,  H01J 49/06 ,  G01N 27/62

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