特許

J-GLOBAL ID：200903084954461402

カラーフィルタ製造用オーブンおよびこれを用いたカラーフィルタの製造方法

発明者： 鏡味 信行 ,  ト部 勇治 ,  堀田 昌司 ,  奥 徹也 ,  石上 宏
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-147221
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337266
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】大量にカラーフィルタ基板を加熱処理しても、昇華物の堆積による歩留まりの悪化や、スループットの低下が起きないカラーフィルタ製造用オーブンを提供する。【解決手段】1個以上の加熱プレートと、1個以上の冷却プレートと、該加熱プレートおよび冷却プレートを覆う蓋を具備し、前記加熱プレートおよび冷却プレート上にカラーフィルタ基板を順次搬送することによりカラーフィルタ基板を加熱、冷却するカラーフィルタ製造用オーブンにおいて、前記蓋の加熱プレートおよび/または冷却プレートに対向する側を加熱する機構を具備したことを特徴とするカラーフィルタ製造用オーブンおよびこれを用いたカラーフィルタの製造方法。

請求項（抜粋）：

1個以上の加熱プレートと、1個以上の冷却プレートと、該加熱プレートおよび冷却プレートを覆う蓋を具備し、前記加熱プレートおよび冷却プレート上にカラーフィルタ基板を順次搬送することによりカラーフィルタ基板を加熱、冷却するカラーフィルタ製造用オーブンにおいて、前記蓋の加熱プレートおよび/または冷却プレートに対向する側を加熱する機構を具備したことを特徴とするカラーフィルタ製造用オーブン。

IPC (2件)：

F27B 9/36 ,  G02B 5/20 101

FI (2件)：

F27B 9/36 ,  G02B 5/20 101