特許

J-GLOBAL ID：200903084955691541

磁気検出素子及び磁気ヘッド

発明者： 川瀬 正博
出願人/特許権者： キヤノン電子株式会社
代理人 (1件)： 加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092465
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285930
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 磁気インピーダンス効果を利用した磁気検出素子において、安定して高い出力が得られ、製造が容易で安価に製造できる構成を提供する。【構成】 非磁性基板10上に下から順に高透磁率磁性膜12,絶縁膜14,導電膜16,絶縁膜14′,高透磁率磁性膜12′を積層して構成される。磁性膜12,12′の少なくとも一方は、磁化容易軸方向が磁界検出方向に対し膜面内で垂直な方向になるように磁気異方性がつけられている。導電膜16は、磁界検出方向に沿った複数本の直線部分が所定間隔で平行に並び、順次折り返すように連結され、電気的に直列接続されたつづら折り状パターンに形成されている。導電膜16の両端の端子部16A,16Bから高周波電流を印加し、外部磁界Hexにより端子部16A,16B間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力が得られる。

請求項（抜粋）：

磁気インピーダンス効果を利用した磁気検出素子であって、非磁性基板上に下から順に第1の高透磁率磁性膜,第1の絶縁膜,導電膜,第2の絶縁膜,第2の高透磁率磁性膜を積層して構成され、前記第1と第2の高透磁率磁性膜の少なくとも一方は、磁化容易軸方向が磁界検出方向に対し膜面内で垂直な方向になるように磁気異方性がつけられ、前記導電膜は、磁界検出方向に沿った複数本の直線部分が所定間隔で平行に並び、順次折り返すように連結され、電気的に直列接続されたつづら折り状パターンに形成され、前記導電膜の両端部から高周波電流を印加し、外部磁界により前記導電膜両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力を得られるようにしたことを特徴とする磁気検出素子。

IPC (3件)：

G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/00

FI (3件)：

G01R 33/06 R ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/00