特許
J-GLOBAL ID：200903084956395628
金属部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232309
公開番号（公開出願番号）：特開平8-109480
出願日： 1990年07月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】残留有機物の少ない化学量論比のそろった高分子金属ポリマ薄膜が低温で熱処理しない方法で得られる金属部材を提供する。【構成】分解開始温度が300°C以下である基板上に形成された無機ポリマ薄膜の炭素量が0.01 乃至4原子%であって、C-H結合を含み、実質的に金属酸化物からなる非結晶の無機ポリマであることを特徴とする金属部材。【効果】残留有機物の少ない化学量論比のそろった金属部材が低温で熱処理しない方法で得られる。
請求項（抜粋）：
表面に高分子金属酸化物薄膜を有し、該薄膜が、化学量論組成で85原子%以上の酸素含有率及び/または0.01 乃至4原子%の残留炭素量を有することを特徴とする金属部材。
IPC (16件)：
C23C 24/00
, B01J 19/00
, B01J 19/12
, C01B 33/12
, C01G 1/02
, C01G 15/00
, C01G 19/02
, C01G 23/04
, C23C 30/00
, H01G 4/33
, H01L 21/314
, H01L 21/316
, G02B 1/11
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, G02B 5/30
H01G 4/06 102
, G02B 1/10 A
