特許

J-GLOBAL ID：200903084956981330

走行装置、走行装置を具備したウエハ、及びかかるウエハの作製方法

発明者： 池田 利喜夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-322334
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151547
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】ウエハの搬送時、ウエハの裏面からのパーティクル発生を抑制し得るウエハの搬送手段、あるいは又、搬送時、ウエハの裏面からのパーティクル発生を抑制し得るようなウエハを提供する。【構成】走行装置10は、ローラー12、フレーム14、及びフレームに形成されしかもローラーを軸支する軸受け部16から成り、これらがエッチング可能な材料から形成されている。ウエハは、このような走行装置、あるいは、エッチング可能な材料から形成されたターボファンから成る走行装置がウエハ裏面に接合されている。

請求項（抜粋）：

エッチング可能な材料から形成された、ローラー、フレーム、及びフレームに形成されしかもローラーを軸支する軸受け部から成ることを特徴とする走行装置。