特許

J-GLOBAL ID：200903084958811246

質量流量センサ

発明者： ハンス ヘヒト ,  ヴォルフガング キーンツレ ,  ルードルフ ザウアー ,  エッカルト ライレン ,  クルト ヴァイプレン
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140626
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050783
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 正確に定められ良好に再現可能な流れの特性が測定チップ表面で得られるように改善を行うこと。【構成】 当該質量流量センサは、流入路を備えたケーシングを有しており、該ケーシングには測定チップが少なくとも部分的に組み込まれているように構成される。

請求項（抜粋）：

測定チップ(2)を有し、該測定チップ(2)は誘電性ダイヤフラム(3)を単結晶シリコンからなるフレーム(4)内に有し、さらに該測定チップ(2)は、前記ダイヤフラム(3)の上に配置された加熱体(5)を有しており、この場合導体線路(7)が該加熱体(5)へ接続されており、前記フレーム(4)の上には前記測定チップ(2)の接触接続のためのボンディングパッド(8)が設けられている、質量流量センサにおいて、当該質量流量センサは、流入路(9)を備えたケーシング(1)を有しており、該ケーシング(1)には測定チップ(2)が少なくとも部分的に組み込まれていることを特徴とする、質量流量センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平3-501883
  
• 特開昭61-167820