特許
J-GLOBAL ID：200903084962122048
脆性材料の切断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298221
公開番号（公開出願番号）：特開平5-212720
出願日： 1984年11月20日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ワイヤソーの切断精度および切断能率を向上する。【構成】ワイヤソーの加工液供給ノズル4の真下に、縦形の加工液貯蔵部7-1と、水平方向に加工液を流出させるスリット状の流出孔を有する水平な整流部7-2を有する逆T字形のスリットノズル7を、整流部7-2をワイヤ列2が貫通するごとく設ける。加工液はT字形スリットノズル7の整流部7-2を貫通するワイヤ列2に供給され、この整流部内でワイヤ列が水幕状の加工液中に浸漬された状態で切断が行われる。
請求項（抜粋）：
ワイヤに被切断部材を摺接せしめつつ、加工液を供給して切断する装置において、加工液供給ノズルの真下に、縦形の加工液貯蔵部と、水平方向に加工液を流出させるスリット状の流出孔を有する水平な整流部が連続した逆T字形のスリットノズルを、少なくともワイヤが被切断部材に入る直前に配置し、該スリットノズルの整流部を貫通するワイヤ列に加工液を供給することを特徴とする脆性材料の切断装置。
IPC (5件)：
B28D 7/02
, B24B 27/06
, B28D 1/08
, B28D 1/22
, H01L 21/304 331
