特許
J-GLOBAL ID:200903084966009246
X線検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩野入 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-081815
公開番号(公開出願番号):特開2003-279503
出願日: 2002年03月22日
公開日(公表日): 2003年10月02日
要約:
【要約】【課題】 X線検査装置の大きさを小型化し、価格を低減し、また、材質及び被検査物の物を特定する。【解決手段】 透過X線により被検査物を検査するX線検査装置1であって、1つのX線源2と、被検査物4を透過したX線を検出する2つのラインセンサ6と、何れか一方の検出器の前面に配置する特定エネルギーろ過フィルタ7と、単純透過X線及び特定エネルギーろ過フィルタ透過X線の各検出出力と対象物の厚みとの特性データを元素別に格納する特性データメモリ14を備え、1個のX線源からのX線をエネルギーフィルタに通すことよりエネルギー特性が異なる少なくとも2つのX線を生成し、このエネルギーの異なるX線の照射で得た少なくとも2つの検出出力に対して、検出出力レベルに対応する厚みが一致する元素を求めることによって、被検査物中に含まれる対象物の元素を特定する。
請求項(抜粋):
透過X線により被検査物を検査するX線検査装置において、一つのX線源と、被検査物を透過したX線を検出する2つの検出器と、前記検出器の何れか一方の前方に配置する特定エネルギーろ過フィルタと、単純透過X線及び特定エネルギーろ過フィルタ透過X線の各検出出力と対象物の厚みとの特性データを元素別に格納する特性データ格納手段とを備え、X線照射により得られる単純透過X線の及び特定エネルギーろ過フィルタ透過X線の各検出出力に対する対象物の厚みが同一となる元素を前記特性データから求めることにより元素を特定することを特徴とするX線検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (18件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA08
, 2G001EA05
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA01
, 2G001HA13
, 2G001JA13
, 2G001KA01
, 2G001KA06
, 2G001KA11
, 2G001LA10
, 2G001PA01
, 2G001PA11
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