露光照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-235115
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097125
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【構成】光源部1は、励起レーザ素子2にインジェクションロックされた複数の高調波光発生レーザ素子31、32・・・3n-1、3nと、該複数の高調波光発生レーザ素子がカップリングされた光ファイバー41、42・・・4n-1、4nと、該光ファイバーを束ねて形成した出射端からのレーザ光を集光する集光レンズ5とからなる。移動散乱媒体6は、光源部1からのレーザ光を散乱し透過させる。フライアイレンズ8は、集光レンズ7を介したレーザ光の強度分布を均一化する。強度分布が均一化された高調波レーザ光は、コンデンサーレンズ9によって露光用マスク10上に投影される。【効果】色収差を避けることができ、超解像を得られ、また故障やメンテナンスにおける操業停止を回避でき、さらに均一でむらのない露光を実現し、ランダムな干渉ノイズを平均化し、かつ高い光源利用率を達成できる。

請求項（抜粋）：

複数のレーザ素子から出射される複数のレーザ光束を集光してなる光源と、上記光源からのレーザ光の散乱状態を変化させる移動散乱媒体と、上記移動散乱媒体からの散乱レーザ光の強度分布を均一化する強度分布均一化手段とを有することを特徴とする露光照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/72 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 527

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