特許

J-GLOBAL ID：200903084977061487

蒸着重合装置

発明者： 多田 勲 ,  長嶋 直樹 ,  高橋 善和 ,  飯島 正行
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321360
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132759
出願日： 1991年11月08日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】[構成] 蒸着重合装置1は真空室である処理室1aの底壁部に設けた開口14の下方に未重合モノマを捕獲する水冷モノマトラップ12を配設し、更にその下方には排気バルブ13が設けられ、処理室1aと真空排気系2とを仕切っている。蒸発源容器貯蔵部7a、7bに供給されているモノマA、Bが蒸発源加熱ヒータ9により加熱されると、モノマA、Bは蒸発し基板3上で蒸着重合する。このときに、処理室1a内で基板3に蒸着重合せず、未重合モノマとなったモノマは真空排気系2の方向、すなわち開口14に向う方向へ排出される。[効果] 未重合モノマが真空排気系を通過する際、モノマトラップに捕獲されるので、未重合モノマが排気系から漏れなくなる。特に未重合モノマが有害な場合に人体への影響をなくす。

請求項（抜粋）：

真空室における蒸着源容器に供給された原料モノマを加熱手段により蒸発させる蒸着重合装置おいて、前記真空室の壁部に形成される開口と、この開口に連通される真空排気系との間にモノマトラップを設けたことを特徴とする蒸着重合装置。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  B01D 8/00 ,  C23C 14/12 ,  C08J 5/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭53-043904
  
• 特開昭60-258463
  
• 特開昭63-307255