特許
J-GLOBAL ID：200903084980160976
和周波測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211249
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066257
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 同一光軸上に赤外光と波長1064nmの光とを得られるようにすることで、簡素で調整の簡単な和周波測定装置を提供する。【構成】 YAGレーザ11からの波長1064nmの光を偏光回転子12で直線偏光させる。直線偏光した光はLiNbO3 結晶13によりその一部が赤外光に変換される。赤外光の直線偏光方向は、波長1064nmの光の直線偏光方向に直交する。ロションプリズム14は、入射する光の直線偏光方向によってプリズム内を直進する光の割合を変更することができる。ロションプリズム14を直進した波長1064nmの光と赤外光の強度はほぼ等しい。GaAs単結晶フィルタ15は、波長1064nmの光と赤外光を透過させ、その和周波光を阻止する。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発生する光源と、前記レーザ光の一部を該レーザー光よりも波長の長い光に変換する波長変換手段とを備え、前記レーザ光と前記波長の長い光とを試料に照射して和周波光を発生させ、その強度を測定する和周波測定装置において、前記光源と前記波長変換手段との間に配置され前記レーザ光を直線偏光させる偏光手段と、前記波長変換手段から出射する前記レーザ光及び前記波長の長い光を通過させ前記レーザ光と前記波長の長い光との強度を平均化するロションプリズムと、該ロションプリズムから出射する前記レーザ光及び前記波長の長い光を通過させて前記試料に照射するとともに、前記レーザ光と前記波長の長い光との和周波光を除去するGaAs単結晶フィルタとを有することを特徴とする和周波測定装置。
IPC (6件)：
H01L 21/66
, G01J 3/42
, G02F 1/35 505
, G02F 1/39
, H01S 3/00
, H01S 3/10
