特許

J-GLOBAL ID：200903084980609124

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 松沢 明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-108264
公開番号（公開出願番号）：特開2001-287370
出願日： 2000年04月10日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：

【要約】【課題】 クロストークを防止できると共に高精度に形成でき、且つ製造工程を簡略化できるインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室14が複数の隔壁13によって画成される流路形成基板10と、圧力発生室14の一方面を構成する振動板を介して圧力発生室14に対応する領域に設けられて圧力発生室14内に圧力変化を生じさせる圧電素子300とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、流路形成基板10が少なくともボロンドープポリシリコン層18aの両面に単結晶シリコンからなるシリコン層12A,12Bを有する基板であり、圧力発生室14を一方のシリコン層12A及びボロンドープポリシリコン18aに形成すると共に圧力発生室14の他方面を他方のシリコン層12Bで構成し、圧力発生室14に連通するインク導入口17を他方のシリコン層12Bに形成することにより、圧力発生室14を高精度且つ容易に形成できる。

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室が複数の隔壁によって画成される流路形成基板と、前記圧力発生室の一方面を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対応する領域に設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板が少なくともボロンドープポリシリコン層の両面に単結晶シリコンからなるシリコン層を有する基板であり、前記圧力発生室が一方のシリコン層及び前記ボロンドープポリシリコン層に形成されると共に当該圧力発生室の他方面が他方のシリコン層で構成され、前記圧力発生室に連通するインク導入口が前記他方のシリコン層に形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (10件)：

2C057AF40 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP34 ,  2C057AP58 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14