特許
J-GLOBAL ID：200903084984680494

油静圧軸受け用可変毛細管装置及びそれを利用した運動誤差補正方法

発明者：
朴 天弘

朴 天弘 について

, 
李 厚▲さん▼

李 厚▲さん▼ について


出願人/特許権者：
財団法人韓国機械研究院

財団法人韓国機械研究院 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181214
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018247
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：
【要約】【課題】 油静圧軸受け用可変毛細管装置及びそれを利用した運動誤差補正方法を提供する。【解決手段】 前記装置は円筒形として上下側構造部とその中間に挿入される板スプリングを備える。上側構造部中央部と前記板スプリングの間には微細間隔が形成され毛細管役割をする。補正方法は油静圧テーブルの一側に一対の可変毛細管装置402,404がそれぞれ連結された一対の油静圧軸受けを、他側に固定毛細管702,704が連結された一対の油静圧軸受けを設置した後、一対の可変毛細管装置402,404の各利得を求める段階と、テーブル810を移送させ誤差変位を測定する段階及びテーブルが移送される間、各可変毛細管装置402,404に補正電圧を印加する段階を含む。前記装置及びそれを利用した運動誤差補正方法は油静圧軸受けに剛性を与えるために設置される毛細管補償要素を可変化させ主軸または移送テーブルの各位置での運動誤差量に相応する相対変位を補償要素の抵抗変化を利用して補正することができる。
請求項（抜粋）：
ベースプレートと、前記ベースプレートの上面に結合される中空形の第1シリンダ部材と、前記第1シリンダ部材の上部に結合され流体の流動を案内するための第1手段と、前記第1シリンダ部材と前記第1手段との間に設置され,その様子が変化されることにより前記第1手段内に流入される前記流体の量を調節するための第2手段と、及び前記第2手段の様子を変化させるための第3手段とを具備することを特徴とする可変毛細管装置。
IPC (3件)：
F16C 32/06 ,  B23Q 1/38 ,  F16C 33/10
FI (3件)：
F16C 32/06 A ,  F16C 33/10 Z ,  B23Q 1/26 E
Fターム (15件)：
3C048BB12 ,  3C048CC07 ,  3C048DD01 ,  3J011KA07 ,  3J011MA24 ,  3J102AA02 ,  3J102BA14 ,  3J102CA11 ,  3J102CA31 ,  3J102EA03 ,  3J102EA07 ,  3J102EA10 ,  3J102EA30 ,  3J102EB03 ,  3J102GA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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