特許
J-GLOBAL ID：200903084992386635
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026359
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242012
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【構成】 ウェハにレーザ光を照射した際生ずる散乱光を複数方向から受光し、各受光信号を、シミュレーション等により求めた散乱光強度分布によるデータ値と相関をとって、ウェハ表面に付着した微粒子を検出する。【効果】 微粒子による微弱な散乱反射光をも、センサなどのノイズの影響を受けることなく、好適に検出することができる。
請求項（抜粋）：
検査対象を全面走査可能に載置固定する載置手段と、前記検査対象を照射する投光手段と、前記被検査対象からの散乱反射光を受光しかつ受光強度に応じた受光信号を出力する複数の受光手段と、前記各受光信号を加算して閾値と比較する閾値処理手段と、前記受光信号のそれぞれを予め記憶された参照信号と比較する相関演算手段とを具備することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
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