特許

J-GLOBAL ID：200903084999847220

複合センサ

発明者： 本間 敏男 ,  阿部 毅 ,  小玉 博志
出願人/特許権者： 長野計器株式会社
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011177
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206202
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造であり、小型化が容易な複合センサの提供。【解決手段】流体の静圧を受けて変形するダイアフラム部30の中心部分に、流体の動圧を受けてダイアフラム部30を変形させるカンチレバー部20を垂直に連結し、ダイアフラム部30の機械的変位を検出する複数の歪みゲージGP1〜GP4,GF1〜GF4を、ダイアフラム部30の表面に十文字状に配列する。これにより、流体の圧力(静圧)測定と、流体の動圧検出に基づく流量測定との両方が可能となるうえ、ダイアフラム部30およびカンチレバー部20のみが主要な機械部品となり、簡単な構造となる。また、ダイアフラム部30には、プラズマCVD等で歪みゲージGP1〜GP4,GF1〜GF4を容易に形成できる。

請求項（抜粋）：

測定対象となる流体の流量と圧力とを同時に測定するための複合センサであって、前記流体が流れる方向と平行に配置されるとともに一面が当該流体に接するダイアフラム部と、このダイアフラム部の前記一面に基端が接合されるとともに先端が前記流体の流動方向と交差する方向に延びるカンチレバー部と、前記ダイアフラム部の機械的変位に応じて電気抵抗が変化するとともに当該ダイアフラム部の表面に放射状に配列されている複数の歪みゲージとを備えていることを特徴とする複合センサ。

IPC (4件)：

G01F 1/28 ,  G01D 21/02 ,  G01L 7/00 ,  G01L 9/04 101

FI (4件)：

G01F 1/28 B ,  G01D 21/02 ,  G01L 7/00 Z ,  G01L 9/04 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-218722
  
• 特開昭63-070121
  
• 多結晶半導体によりトランスデューサーの主要部を構成した電子装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271032   出願人：竹花良人
• 特開昭63-266358