特許
J-GLOBAL ID：200903085000019420
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055431
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267483
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【構成】被測定試料表面を複数の区画に分割して電子ビームを走査し、フレームメモリに記録された複数枚の画像をつなぎ合わせて極低倍画像表示を行う方式において、対物レンズの電流値から、試料移動に於けるX-Y軸と偏向走査のX-Y方向の回転ずれ量を算出し、電気的視野回転を用いて試料上の偏向方向の回転補正を行う。【効果】極低倍表示により試料の広域観察を行うときの操作性が容易で、かつすべての作動距離での極低倍表示が可能な走査電子顕微鏡を提供できるようになる。
請求項（抜粋）：
試料上に細く絞った電子線を、二次元的に走査しながら照射して得られる画像データを記憶するフレームメモリと、フレームメモリに記憶された画像データを静止画観察像として表示する手段と、モータ駆動による試料移動装置を有し、試料上の電子線の走査位置を、試料移動によって順次移動し、移動毎に画像データのフレームメモリへの記憶を繰り返し、得られた複数枚の画像データをフレームメモリ上で、試料移動方向に従って二次元的につなぎ合わせ、1枚の画像データとして表示する手段を有する走査電子顕微鏡において、電気的視野回転による回転補正手段と試料面の上下位置を検出する手段を具備し、電子線の走査X-Y軸を常に試料移動装置のX-Y軸に一致させるように自動的に回転補正を行うように構成したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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