特許
J-GLOBAL ID：200903085000452212
面形状計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-266308
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089535
出願日： 1995年09月19日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 計算機ホログラムを形成した平板を用いて面形状を計測する際、該平板の表面で正反射してCCD へ向かう光束を含めて該CCD の受光面上の最大光量をその飽和光量以下とし、高精度で計測できる面形状計測方法を得ること。【解決手段】 干渉計からの球面波光束を計算機ホログラムを有する平板に入射し、発生する所定の透過回折光束を被検査面に入射させ、反射した光束が該ホログラムを透過する際に発生する所定の回折光束より成る測定光束と参照面によって形成される参照光束とを合成し、その合成光の干渉縞をCCD で検出することにより該被検査面の形状を計測する際、該平板を設ける位置は該平板の表面で該球面波光束を反射して形成される正反射光束が該CCD の受光面の位置において該受光面と同じ若しくは該受光面より大きい直径を形成する位置である。
請求項（抜粋）：
干渉計から射出する収束球面波光束を計算機ホログラムを有する平板に入射し、該計算機ホログラムで発生する所定の次数の透過回折光束を被検査面に入射させ、該被検査面で反射した光束が該計算機ホログラムを透過する際に発生する透過回折光束の内の所定次数の回折光束より成る測定光束を該干渉計に入射させ、該測定光束と該干渉計内の参照面によって形成される参照光束とを合成し、該参照光束の位相を変化させて、その合成光の干渉縞を光電変換手段で検出することにより該被検査面の形状を計測する際、該平板を設ける位置は該平板の表面で該収束球面波光束を反射して形成される正反射光束が該光電変換手段の受光面の位置において該受光面と同じ若しくは該受光面より大きい直径を形成する位置であることを特徴とする面形状計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
