半導体マハツェンダ変調器とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-138505
公開番号（公開出願番号）：特開平10-333106
出願日： 1997年05月28日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】単一ドライバでプッシュプル駆動可能な半導体マハツェンダ変調器を提供する。【解決手段】一方の位相変調器のうちn型InPクラッド層2-1aが他方の位相変調器のp型InPクラッド層4-2に電気的に接続されており、一方の位相変調器のp型コンタクト層(キャップ層5-1)にはVπなるバイアスが恒常的に印加されており、他方の位相変調器のn型クラッド層2-2aは接地されている。n型InPクラッド層2-1aとInPクラッド層4-2の接続点(13-2)にVπ/2-Vπなる駆動信号を入力する。駆動信号がVπ/2(又はVπ)の時には一方の位相変調器に印加される電圧はVπ/2(又は0)で、他方の位相変調器に印加される電圧はVπ/2(又はVπ)であるため、両者の位相差は0(又はπ)であり、光ON(OFF)の状態が得られる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に、光ガイド層を第1導電型クラッド層と第2導電型クラッド層で挟んだ積層構造を基本構造として有し、入射光を導波するための入射光導波路、前記入射光導波路を伝搬する伝搬光を2つに分岐する分岐導波路、分岐された2つの伝搬光間に位相差を与える2つの位相変調器、2つの伝搬光を合波する合波導波路及び合波された伝搬光を出射するための出射光導波路を含む半導体マハツェンダ変調器において、前記2つの位相変調器のうちの一方の第1導電型クラッド層が他方の第2導電型クラッド層に電気的に接続されており、その接続点に単一ドライバの出力信号を印加して前記2つの位相変調器をプッシュプル駆動することを特徴とする半導体マハツェンダ変調器。

IPC (2件)：

G02F 1/015 502 , G02F 1/025

FI (2件)：

G02F 1/015 502 , G02F 1/025

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