特許

J-GLOBAL ID：200903085002221021

製膜装置及びヘッドクリーニング方法及びデバイス製造装置及びデバイス

発明者： 中村 真一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-073067
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270426
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 複数のインクジェットヘッドの各ノズル面を一括清掃する際に、ワイピングシートの不適切な送り出しによる作業効率の低下を防止する手段の提供を課題とする。【解決手段】 ワイピングユニットに、ワイピングシート75及びローラ76と、該ローラ76の送り速度に応じてワイピングシート75の送り速度を合わせるワイピングシート制御部とを備え、ワイピングシート75の送り速度をローラ76の送り速度に応じて合わせる構成/方法を採用した。

請求項（抜粋）：

液滴を吐出する複数のヘッドと、これらヘッドの各ノズル面を清掃するヘッド清掃機構とを備えた製膜装置において、前記ヘッド清掃機構には、前記各ノズル面を一括して拭うワイピングシートと、該ワイピングシートの折り返し点に設けられて該ワイピングシートを前記各ノズル面に向けて押し付けるローラと、該ローラの送り速度に応じて前記ワイピングシートの送り速度を合わせるワイピングシート制御部とが備えられていることを特徴とする製膜装置。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  B41J 2/165

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  B41J 3/04 102 H

Fターム (7件)：

2C056EA16 ,  2C056FB01 ,  2C056JB02 ,  2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42