特許
J-GLOBAL ID：200903085010490619
搬送駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-236815
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055347
出願日： 1991年08月26日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】被処理体を保持して所定の雰囲気内で上下移動可能な搬送駆動装置の駆動部の腐食防止、駆動部から生じる塵埃の外気雰囲気への漏出防止及び搬送速度の高速化を図る。【構成】スクリューシャフト、ガイドシャフト及びスライドシャフト等の駆動部の外側を固定内筒15で覆う。固定内筒15の外側にシールパッキング18を介して可動外筒16を上下移動可能に配設すると共に、固定内筒15の上端と可動外筒16の上端との間に密閉空間28を形成する。N2 ガス供給ボンベ23と接続する加圧ガス供給管22を固定内筒15内に配設する。この加圧ガス供給管22の上部側に加圧ガス供給孔21を設ける。固定内筒15を貫通する吸気・排気管25に、密閉空間28内に開口する上部開口26と、固定内筒の下端部の外気側に開口する下部開口27とを設ける。
請求項（抜粋）：
被処理体を保持して所定の雰囲気内で上下移動可能な搬送駆動装置において、駆動部の外側を覆う固定内筒と、上記固定内筒の外側にシール機構を介して上下移動可能に配設されると共に、固定内筒の上端との間に密閉空間を形成し、かつ上記被処理体の保持部と連結する可動外筒と、上記固定内筒内を陽圧状態に維持すべく固定内筒内に加圧ガスを供給する加圧手段と、上記固定内筒を貫通し、上記密閉空間内に開口する上部開口と、固定内筒の下端部の外気側に開口する下部開口とを有する吸気・排気用通路とを具備することを特徴とする搬送駆動装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 341
, B08B 3/04
