特許

J-GLOBAL ID：200903085012850167

フォトクロミック・フィルタを使用する照明調節システム

発明者： ジェームス・アレン・ブルース ,  ジョーゼフ・ゴーティック ,  マイケル・ストレート・ヒッブス
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-212068
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078323
出願日： 1995年08月21日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【課題】【解決の手段】 フォトクロミック・ガラスを、ウエハにコーティングされたレジストを露光するための光源とウエハの間に置く。フォトクロミック・ガラスは、レジストを活性化する波長とは異なる波長によって活性化される。それぞれが可変強度を有する個々の光源のアレイが、フォトクロミック・ガラスに活性化光を供給する。一時的に結像面に置かれたCCDアレイによって、光強度分布を測定する。コントローラが、個々の光源アレイの強度を変更して、変化する度合にフォトクロミック・ガラスを活性化し、結像面で所望の効果をもたらす。【効果】 感光材料を活性化する波長と異なる波長の光によって活性化されるフォトクロミック・フィルタを使用することによって、露光時間を増加させずに感光材料を露光する改良された方法が可能となる。

請求項（抜粋）：

第1波長の光によって活性化されるフォトクロミック・フィルタと、前記第1波長の光によって前記フォトクロミック・フィルタを活性化するための第1光源と、前記活性化されたフォトクロミック・フィルタを通過する、前記第1波長と異なる第2波長の光を、結像面に供給するための第2光源とを含む、前記結像面に光を供給する装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/23 ,  G03C 1/725 503 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 502 G