特許

J-GLOBAL ID：200903085018871255

ガス感応体、それを用いたガス検知素子及びガス検知素子の製造方法

発明者： 国元 晃
出願人/特許権者： 株式会社リケン
代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297981
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123724
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 エチレン、プロピレン、硫化水素等の臭気ガスを良好な感度で検知することができるガス検知素子を提供する。【構成】 電気絶縁性の高い基板2と、基板2上に設けた一対の電極4,4と、一対の電極4,4に接続するリード線5,5と、一対の電極4,4のそれぞれの少なくとも一部分を覆うとともに電極間にわたって形成されたガス感応膜3と、ガス感応膜3を加熱するヒータ6とを有するガス検知素子1であって、ガス感応膜3は、Al2 O3 、SiO2 及びZrO2 のうちの少なくとも1種が均一に固溶又は分散析出してなるZnO薄膜であることを特徴とするガス検知素子である。

請求項（抜粋）：

Al2 O3 、SiO2 及びZrO2 のうちの少なくとも1種がZnO中に均一に固溶又は分散析出してなることを特徴とするガス感応体。