特許
J-GLOBAL ID:200903085022784022

感熱式流速計及びこれを用いたフルイディック流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏木 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-228406
公開番号(公開出願番号):特開平6-074962
出願日: 1992年08月27日
公開日(公表日): 1994年03月18日
要約:
【要約】【目的】 発熱体の抵抗値と放熱効率とを同時に制御可能とすること。【構成】 基板1上に、各々電気抵抗体による発熱体2、発熱体測温体3及び流体測温体4を形成し、基板1材料より高い熱伝導性を持つ電気的絶縁保護層5を発熱体2及び発熱体測温体3部分と流体測温体4部分とを物理的に隔離する状態でこれらの発熱体2、発熱体測温体3及び流体測温体4を覆うように形成し、発熱体2と発熱体測温体3と流体測温体4との抵抗値制御及び発熱量制御を独立して行なえるように構成した。
請求項(抜粋):
電気抵抗体による発熱体と、この発熱体と一体又は別体に形成されて前記発熱体の温度を計測する電気抵抗体による発熱体測温体と、流体の温度を計測する電気抵抗体による流体測温体と、これらの発熱体と発熱体測温体と流体測温体とを形成する基板と、前記発熱体及び発熱体測温体部分と前記流体測温体部分とを物理的に隔離する状態でこれらの発熱体、発熱体測温体及び流体測温体を覆うように前記基板上に形成されたこの基板材料より高い熱伝導性を持つ電気的絶縁保護層とよりなることを特徴とする感熱式流速計。
IPC (3件):
G01P 5/12 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/68

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