特許
J-GLOBAL ID:200903085024222919
熱電変換素子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西川 惠清 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-245648
公開番号(公開出願番号):特開平10-275944
出願日: 1997年09月10日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】 有機化合物をほぼ完全に除去して高密度で残留カーボン量の極めて少ない熱電変換素子を製造する。【解決手段】 Bi、Te、Sb及びSe元素からなる群より選択された少なくとも二種以上の元素を含有する熱電変換素子原料の粉末とアクリル系樹脂バインダーとを混合し、この材料を成形する。成形したこの成形体を減圧下で熱処理して脱バインダーした後、大気圧以上の非酸化性雰囲気で熱処理して焼成を行なうことによって、熱電変換素子を製造する。バインダーとして用いるアクリル系樹脂は比較的低い温度で分解し、しかもカーボンとして残留し難い。また減圧下での熱処理でほぼ完全に脱バインダーを行なうことができると共に、大気圧以上の非酸化性雰囲気での熱処理で熱電変換素子の組成変動を防ぐことができる。
請求項(抜粋):
Bi、Te、Sb及びSe元素からなる群より選択された少なくとも二種以上の元素を含有する熱電変換素子原料の粉末とアクリル系樹脂バインダーとを混合した材料を成形し、この成形体を減圧下で熱処理して脱バインダーした後、大気圧以上の非酸化性雰囲気で熱処理して焼成を行なうことを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
IPC (3件):
H01L 35/34
, B22F 3/02
, H01L 35/16
FI (3件):
H01L 35/34
, H01L 35/16
, B22F 3/02 M
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