特許
J-GLOBAL ID：200903085027329153
リーク検査方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
黒田 博道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342851
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185749
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 圧力値からリーク量への算出を行う煩雑な計算を行うことなく、直接かつ容易にリーク量を計測することができるリーク検査方法を提供する。【解決手段】 所定の密閉性を要求される被検査物31のリークの有無を判断するリークの検査方法であって、被検査物31から流出又は被検査物31へ流入する気体の流量を測定し、被検査物31のリークの有無を判断する。
請求項（抜粋）：
所定の密閉性を要求される被検査物のリークの有無を判断するリークの検査方法であって、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体の流量を測定し、被検査物のリークの有無を判断することを特徴とするリーク検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 3/26 L
, G01M 3/32 Z
