特許

J-GLOBAL ID：200903085034057916

エッジポリッシング装置の研磨ドラム

発明者： 加藤 剛敏
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-126455
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296641
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 鏡面加工時に研磨パッドのつき合せ部に生じる剥れや伸びを防止することが可能なエッジポリッシング装置の研磨ドラムを提供する。【解決手段】 中心軸10aの周りで回転するドラム本体30と、このドラム本体30の周面に貼り付けられウエハWのエッジを鏡面加工する研磨パッド31とを具備している。具体的には、研磨パッド31は、端面33,34同士をつき合せて形成したつき合せ部32が回転方向Aに対して角度θで傾くようにドラム本体30に貼り付けられている。この角度θは、45°から60°の範囲に設定することが好ましい。

請求項（抜粋）：

中心軸の周りで回転可能なドラム本体と、上記ドラム本体の周面に貼り付けられ、ウエハのエッジを鏡面加工する研磨パッドと、を具備するエッジポリッシング装置の研磨ドラムにおいて、端面同士のつき合せ部が上記ドラム本体の回転方向に対して所定角度で傾くように、上記研磨パッドをドラム本体に貼り付けた、ことを特徴とするエッジポリッシング装置の研磨ドラム。