光学系結合性能測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-122457
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288038
出願日： 1996年04月20日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】測定に対する熟練を不要にし、作業性が向上するとともに、像の最悪方向を測定して適正な測定方向でのアフオーカル光学系の結像性能の評価を行う。【解決手段】ピンホール板16に被検レンズ17の複数の像高の位置に対応したピンホールP1〜P5を形成し、全面光源15から均一に照明する。Xステージ21でピンホール板16を光軸方向で移動させる。CCDエリアセンサ41〜49で被検レンズ17を通じたピンホール像(像面18)を検出し、信号処理系20がフーリエ変換によってMTFを算出する。信号処理系20はCCDエリアセンサで検出したピンホール像の出力信号から、それぞれのピーク位置を検出し、このピーク位置を通過するT方向、R方向の出力断面に基づいてフーリエ変換したMTFを算出する。また、CCDエリアセンサで検出したピンホール像の最大のくずれ方向の出力断面に基づいてフーリエ変換してMTFを算出し,その像高におけるアフオーカル光学系の結像性能を評価する。

請求項（抜粋）：

被測定物の光学系結合性能を測定する光学系結合性能測定装置において、前記被測定物の複数の像高の位置に対応してピンホールを形成したピンホール板と、前記ピンホール板の背面から均一に照明する照明装置と、前記ピンホール板を被測定物の光軸方向で移動させるXステージと、前記被測定物を通じたピンホール像を検出するCCDエリアセンサと、前記CCDエリアセンサの出力信号からフーリエ変換によってMTFを算出する算出処理部とを備えることを特徴とする光学系結合性能測定装置。

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