特許
J-GLOBAL ID：200903085052016615
電子放出素子
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077903
公開番号（公開出願番号）：特開2000-276999
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】従来の冷陰極素子よりも、製造方法が簡単で製造コストの低い冷陰極素子を提供する。【解決手段】この電子放出体は、部材3とゲート電極4と区画部材6とを備えている。先ず、基板11の一方の面に多数の針状体12が形成された剣山状部材1を作製する。基板11はAl2 O3 単結晶板であり、針状体12は酸化亜鉛である。この剣山状部材1の針状体12側の表面全体に金属薄膜2を形成することにより、多数の突起状の電子放出体31を有する部材3を得る。ゲート電極4は、電子放出体31の先端部を露出させる穴41を有する。区画部材6は、電子放出体31を複数個毎に区分する空洞61を形成するための部材である。
請求項（抜粋）：
断面の円換算径0.01〜10000μmかつ断面の円換算径に対する長さの比が0.01以上1未満である金属酸化物の突起物を有する電子放出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
