特許
J-GLOBAL ID：200903085052633339
光学式変位センサおよび該光学式変位センサを用いた駆動システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152690
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341861
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 2軸方向の変位を同時に検出することのできる光学式変位センサを、取り付け精度が厳しくなく、取扱いが容易で、小型、高精度にえること。【構成】 相対変位物体に取り付けられ2軸方向に回折格子21が形成されたスケール20と、発光素子1から出射した光を複数軸方向の光束に分割させる第一の光学手段3Aと、前記回折格子21に照射されて変調を受けた前記光束を合成して干渉光束を得る第二の光学手段3D〜3Eと、前記干渉光束を検出する複数の受光素子4B〜4Eと備えたこと。
請求項（抜粋）：
相対変位物体に取り付けられ2軸方向に回折格子が形成されたスケールに、発光素子から出射した光を各軸方向において複数光束に分割して照射させる第一の光学手段と、前記回折格子に照射されて変調を受けた前記複数光束を合成して各軸毎に干渉光束を得る第二の光学手段と、前記各軸毎の干渉光束をそれぞれ検出する複数の受光素子とを備えた光学式変位センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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