特許
J-GLOBAL ID：200903085053994831
スイッチ及びスイッチングシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-518664
公開番号（公開出願番号）：特表2000-500274
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：
【要約】電気的スイッチは排気されたハウジング(1)を有し、このハウジングは、入力端子(2)及び出力端子(3)を有し、これら端子の各々は互いに平行に延在する金属細条(25又は28)の群に接続され、これらの群は互いに絶縁されている。シリコンプレート(31)は複数のブリッジング素子(40)を形成するように加工され、各ブリッジング素子は、その上部表面及び下部表面に、金属層(34及び35)を有している。各ブリッジング素子(40)は、端子(2及び3)のそれぞれに接続された細条(25及び28)の上方でこれらに直交するように延在している。前記ハウジングは、前記ブリッジング素子(40)の上方で延在した動作用細条(52)を有するシリコンキャップ(50)によって封止されており、前記動作用細条は、前記ブリッジング素子の上部表面上の金属層(35)と相俟って静電アクチュエータを構成している。この静電アクチュエータに電圧が印加されると、前記ブリッジング素子(40)が下方に駆動されて、前記端子(2及び3)のそれぞれに接続された細条(25及び28)と接触し、これら端子間に電流が流れるようになる。
請求項（抜粋）：
2つの端子(2及び3)を有するスイッチにおいて、このスイッチが各端子から延在している複数の導電性細条(25及び28)を有し、一方の端子(2)と接続している前記導電性細条(25)は他方の端子(3)と接続している前記導電性細条(28)から電気絶縁され、前記スイッチが更に複数の導電性ブリッジング素子(40)を有し、これらブリッジング素子は、これらが前記細条(25及び28)に対して離間した第1位置と、各ブリッジング素子が、一方の端子(2)に接続された細条(25)及び他方の端子(3)に接続された細条(28)と接触し、電流が前記導電性細条(25及び28)及び前記ブリッジング素子(40)を介して、前記2つの端子間で、並列に流れるようにした第2位置との間で、前記2つの端子(25及び28)に対して変位しうるようになっており、前記スイッチは更に、前記第1及び第2位置間で、前記ブリッジング素子(40)を変位させるように配置したアクチュエータ(52,35)を有していることを特徴とするスイッチ。
引用特許：
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