特許
J-GLOBAL ID：200903085055105015
イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-242705
公開番号（公開出願番号）：特開平5-054811
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 常温で飽和蒸気圧の低い物質をイオン化してビ-ムとして引き出すイオン源においてはチャンバの内部を高温にするためにチャンバの内周に沿う側面輻射シ-ルドと上蓋に平行な上蓋輻射シ-ルドとを付設し、これらとプラズマ電極によって囲まれる空間を形成する。従来は上蓋輻射シ-ルドは上蓋に付いており、側面輻射シ-ルドはチャンバ側に付いているから両者の間隙を余り小さくすることができなかった。【構成】 側面輻射シ-ルドも上蓋に固定することとし、上蓋輻射シ-ルド6と側面輻射シ-ルド5の間隙をより狭くした。輻射シ-ルド空間からの原料蒸気の漏れを防ぎ、原料、電力の損失を低減し、保守点検の頻度を低下させることができる。
請求項（抜粋）：
真空に引くことができ内部に存在する気体をプラズマにする筒状の空間を与えるア-クチャンバと、ア-クチャンバの一端を閉じるための上蓋フランジと、上蓋フランジを貫いてア-クチャンバの内部に設けられるカソ-ドフィラメントと、ア-クチャンバ内部の熱を反射し中央に閉じ込めるための高融点金属板よりなり上蓋フランジに絶縁体によって支持されこれに平行な上蓋輻射シ-ルドと、上蓋フランジに支持されア-クチャンバの内周にそって設けられ上蓋フランジと同電位に保たれる側面輻射シ-ルドと、ア-クチャンバの出口に設けられる多孔電極板である引出電極系とよりなり、側面輻射シ-ルドと上蓋輻射シ-ルドの間隔を接触することなく狭くしたことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
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