特許

J-GLOBAL ID：200903085058929213

反射防止膜用樹脂組成物およびこれを用いた半導体装置の製造方法

発明者： 関野 士郎 ,  山田 善章 ,  石橋 健夫 ,  石川 英一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189139
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022081
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 エッチング残の発生を抑制する、有機反射防止膜用樹脂組成物を提供する。【解決手段】 反射防止膜用樹脂組成物は、側鎖に、アントラセン環の少なくとも9位と10位に置換基を有するアントラセン誘導体を備えた樹脂を主成分とするものである。

請求項（抜粋）：

アントラセン環の少なくとも9位と10位に置換基を有するアントラセン誘導体を側鎖に有する樹脂を主成分とする反射防止膜用樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/11 503 ,  C08L101/16 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/11 503 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/30 574

Fターム (22件)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025DA34 ,  2H025FA03 ,  2H025FA14 ,  2H025FA41 ,  4J002BE021 ,  4J002BG051 ,  4J002CC041 ,  4J002EA066 ,  4J002EB146 ,  4J002EC016 ,  4J002EN056 ,  4J002ES006 ,  4J002ET006 ,  4J002FD310 ,  4J002HA05 ,  5F046CA04 ,  5F046PA07