隔壁の形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137111
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326560
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】転写法において、隔壁の基板上への転写精度を向上させることを課題とする。【解決手段】隔壁形成用の母型1の隔壁パターンに対応した凹部に埋め込んだ隔壁材料2を基板5の隔壁形成面に転写して隔壁を形成する方法において、凹部の内壁面に対する隔壁材料2の接着力より基板5の隔壁形成面の接着力を大にしたことを特徴とする隔壁の形成方法により上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

隔壁形成用の母型の隔壁パターンに対応した凹部に埋め込んだ隔壁材料を基板の隔壁形成面に転写して隔壁を形成する方法において、凹部の内壁面に対する隔壁材料の接着力より基板の隔壁形成面の接着力を大にしたことを特徴とする隔壁の形成方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭53-028373
特開昭53-028373
特開平3-254857

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