ガス混合装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256609
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094451
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】種類の異なるガスを混合するガス混合装置において、機器の精度への依存による混合精度低下及びガスの流量の急激な変化による濃度変動を回避するとともに、所望の混合精度の混合ガスの生成を可能とするガス混合装置を提供すること。【解決手段】オートプレッシャーレギュレータ3A、3Bにより、ガスA、ガスBを所定の圧力に調整し、常に一定のガスが供給されるようにする。そして、制御ユニット5からのデジタル信号によって制御されるデジタルマスフローコントローラ8A、8Bにより、ガスA、ガスBの流量を所定の設定流量に制御して混合ガスを生成し、ステンレス鋼製金網10sを取り付けたバッファタンク10に一旦蓄積してから流出させることにより、混合精度を向上させる。

請求項（抜粋）：

種類の異なるガスを混合するガス混合装置において、供給される各種ガスの圧力を設定圧力にして流出させる圧力調整手段と、前記圧力調整手段から流出した前記各種ガスをデジタル信号によって指示される設定流量に制御して流出させる第一の流量制御手段と、前記第一の流量制御手段から流出した前記各種ガスを混合した混合ガスを一旦蓄積して供給する蓄積手段と、前記蓄積手段内部の圧力を検出する圧力検出手段と、前記蓄積手段から供給される前記混合ガスの所望の使用流量を流出させる第二の流量制御手段と、前記圧力調整手段に対して前記第一の流量制御手段へのガスの供給に適合した圧力を前記設定圧力として指示し、混合後における前記各種ガスが所望の濃度となるための前記各種ガスの流量を前記所望の使用流量及び前記圧力検出手段の検出結果に応じて決定し、その決定した流量を前記第一の流量制御手段に対して前記設定流量と対応するデジタル信号によって指示し、前記第二の流量制御手段に対して前記混合ガスの前記所望の使用流量を指示する制御手段とを有することを特徴とするガス混合装置。

IPC (3件)：

B01F 15/04 , B01F 3/02 , G05D 7/06

FI (3件)：

B01F 15/04 D , B01F 3/02 , G05D 7/06 Z

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