制動機構および電子顕微鏡用試料ステージ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-383113
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184339
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】半導体用のシリコンウェハの全面が観察できる移動ストロークを持ちながら、低振動かつ低ドリフトの試料ステージを提供する。【解決手段】テーブルに固定された2つの平行板バネ機構と、それぞれの平行板バネのうちの1つの板バネに固定された2つの与圧部材と、その与圧部材の片方に固定された滑りパッドと、2つの与圧部材の間隔を調整する調整手段で制動機構を構成する。また、この制動機構を各テーブルに2つ以上設ける。

請求項（抜粋）：

ベースに対し移動可能に支持された移動テーブルに固定され、上記ベースとの間に滑り摩擦を生ずる制動機構であって、上記テーブルに直接、あるいは間接に、移動不可能に一端を固定された2枚の平行に配置された板バネをそれぞれ有する2つの平行板バネ手段、すなわち平行板バネ手段Aおよび平行板バネ手段Bと、それぞれの平行板バネ手段のうちの1つの板バネの、上記テーブルに固定された端とは別の端にそれぞれ両端を固定された1つの与圧部材Aと、それぞれの平行板バネ手段のうちの別の板バネの、上記テーブルに固定された端と別の端にそれぞれ両端を固定された1つの与圧部材Bと、上記与圧部材Bに固定され、上記ベースに設けた滑り面との間に滑り摩擦を生ずる滑りパッドと、上記与圧部材Aと上記与圧部材Bの間隔を調整する調整手段を備えたことを特徴とする制動機構。

IPC (3件)：

H01J 37/20 , F16D 63/00 , G12B 5/00

FI (3件)：

H01J 37/20 D , F16D 63/00 L , G12B 5/00 T

Fターム (18件)：

2F078CA00 , 2F078CA08 , 2F078CB09 , 2F078CC04 , 2F078CC15 , 3J058AB25 , 3J058BA07 , 3J058BA23 , 3J058BA55 , 3J058CA45 , 3J058CA49 , 3J058CA62 , 3J058CC07 , 3J058CC73 , 5C001AA01 , 5C001AA03 , 5C001CC04 , 5C001DD03

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-254116
特開平2-177242

審査官引用 (7件)

特開平3-254116
特開平2-177242
特開平2-177242

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