特許
J-GLOBAL ID:200903085075985500

光センサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-353487
公開番号(公開出願番号):特開平11-186532
出願日: 1997年12月22日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【課題】 基板間の接着層中の気泡による悪影響を無くし、解像度の低下を招かない等倍読み取りを行うことの可能な1次元もしくは2次元の光センサーを提供する。【解決手段】 センサー素子基板103上に、保護基板105を有する光センサーにおいて、上記センサー素子基板103と上記保護基板105の間に、分散して配置されたスペーサー202を有し、該スペーサーにより支持された空気層を介して、両方の上記基板の外周部を接着して構成したことを特徴とする光センサー。
請求項(抜粋):
センサー素子基板上に、保護基板を有する光センサーにおいて、上記センサー素子基板と上記保護基板の間に、分散して配置されたスペーサーを有し、該スペーサーにより支持された空気層を介して、両方の上記基板の外周部を接着して構成したことを特徴とする光センサー。
IPC (4件):
H01L 27/14 ,  G01T 1/00 ,  G21K 4/00 ,  H01L 23/02
FI (4件):
H01L 27/14 D ,  G01T 1/00 D ,  G21K 4/00 A ,  H01L 23/02 F

前のページに戻る