特許

J-GLOBAL ID：200903085079779106

大型ペリクル用枠体

発明者： 栗山 芳真
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社
代理人 (1件)： 中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-216069
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042507
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、大型ペリクル膜を展張して貼着支持する一対の長辺と一対の短辺とを有する大型ペリクル用枠体であって、一対の長辺を枠体の外側に向かって突出するように形成したことで、該長辺の枠体の内側に向かう撓みを抑制してフォトマスクやレティクル等の露光領域を確保することが出来る大型ペリクル用枠体を提供することを可能にすることを目的としている。【解決手段】 大型ペリクル膜2を展張する面積が1000cm2以上で且つ枠体1の一対の長辺1aが該枠体1の外側に向かって突出するように形成されたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

大型ペリクル膜を展張して貼着支持する一対の長辺と一対の短辺とを有する大型ペリクル用枠体であって、前記大型ペリクル膜を展張する面積が1000cm2以上で構成され、且つ前記大型ペリクル膜が貼着される前記枠体の一対の長辺を該枠体の外側に向かって突出するように形成したことを特徴とする大型ペリクル用枠体。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 K ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (4件)：

2H095BC38 ,  5F046AA21 ,  5F046CB17 ,  5F046DA06