アクティブ除振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257527
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091485
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】性能やコストを犠牲にすることなく、より大きな推力で制振制御が行えるようにする。【構成】除振台1と、前記除振台を防振支持する1以上の支持機構2a,2b2c,2dと、前記支持機構に並列に配置され、かつ前記除振台への作用が同じ複数のアクチュエータ3a,3bを有するアクチュエータ組の1組以上と、前記除振台の振動を検出する振動センサ4と、前記振動センサの出力に基づいて前記アクチュエータにより前記除振台の振動を能動的に抑制するための前記アクチュエータの制御量を演算する振動制御演算手段5と、前記振動制御演算手段から出力される制御量に基づき前記アクチュエータを駆動する駆動回路6a,6bとを具備する。

請求項（抜粋）：

除振台と、前記除振台を防振支持する1以上の支持機構と、前記支持機構に並列に配置され、かつ前記除振台への作用が同じ複数のアクチュエータを有するアクチュエータ組の1組以上と、前記除振台の振動を検出する振動センサと、前記振動センサの出力に基づいて前記アクチュエータにより前記除振台の振動を能動的に抑制するための前記アクチュエータの制御量を演算する振動制御演算手段と、前記振動制御演算手段から出力される制御量に基づき前記アクチュエータを駆動する駆動回路とを具備することを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/02 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , B23Q 1/00

FI (2件)：

H01L 21/30 503 F , B23Q 1/00 S

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