特許
J-GLOBAL ID：200903085092234895
圧電アクチュエータの劣化検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
武石 靖彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-008931
公開番号（公開出願番号）：特開2003-219664
出願日： 2002年01月17日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 圧電アクチュエータの伸縮の度合いを、センサ素子を外付けする必要なく把握でき、しかも早期かつ確実に圧電アクチュエータの劣化を検出することが可能な劣化検出装置を提供する。【解決手段】 圧電アクチュエータAと、直流制御電源Sと、高周波電源Hと、高周波電源からキャパシタ回路を介して圧電アクチュエータに高周波電圧を印加する高周波電圧印加回路と、圧電アクチュエータのキャパシタンスの変化より生じたその電極対20、21間の高周波端子電圧の変化を表わす信号電圧を測定する測定回路と、測定された電圧値に基づき警報を発する比較・警報回路とを備え、高周波電圧印加回路中のキャパシタにより直流を遮断し、それ以降の高周波回路が直流制御電源から影響を受けないようにし、駆動中の圧電アクチュエータの劣化検出が行える構成とする。
請求項（抜粋）：
圧電素子に直流電圧又は電流を印加し、逆圧電効果を利用して機械的な変位エネルギーを発生させる圧電アクチュエータにおいて、圧電素子の付勢電極間に高周波電圧を印加する手段と、前記高周波電圧の印加により検出されるこの圧電素子のキャパシタンスの変化を連続的に測定する回路と、このキャパシタンス測定値が所定の基準レベル範囲を外れたとき警報信号を発生及び出力する手段とを併せ備えたことを特徴とする圧電アクチュエータの劣化検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 Z
