特許

J-GLOBAL ID：200903085094692181

グロー放電管光源を用いた光化学的材料処理方法

発明者： ジヤン・フリクステン ,  イヴ・ニツセン ,  クリスシヤン・リコツプ ,  イヴ・ヴイト
出願人/特許権者： フランス・テレコム・エタブリスマン・オウトノム・デ・ドロワ・パブリツク
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108479
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117863
出願日： 1992年04月02日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 低温で「穏やかな」CVD蒸着層を形成することであり、スパッタリング、電子銃、分子線法、及びプラズマ-アシスト蒸着等のより「激しい」蒸着方法を排除すること。【構成】 本発明によれば、固体材料の光化学処理方法は、低圧の稀ガスを封入した少なくとも一つの長尺のグロー放電管(4)により生成される光パルスで、前記材料を露光する工程を備え、前記グロー放電管のガス、圧力、及び放電特性を前記材料及びその前駆物質に適合させて、各パルスは160乃至5000nmの拡散発光スペクトルを有する。調整可能な電気特性(LC)を備えた電気回路により、グロー放電管の放電特性及びこの放電に必要なエネルギの蓄積を調整することができる。

請求項（抜粋）：

固体材料の光化学処理方法であって、低圧の稀ガスを封入した少なくとも一つの長尺のグロー放電管により生成される光パルスで、前記材料を露光する工程を備え、前記グロー放電管のガス、圧力、及び放電特性を、前記材料及びその前駆物質に適合させ、更に、各パルスが、160乃至5000nmの広範な発光スペクトルを有することを特徴とする方法。

IPC (4件)：

C23C 16/44 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/48 ,  H01L 21/31